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Kontakt

Institut f. Technische Optik
Universität Stuttgart
Pfaffenwaldring 9
70569 Stuttgart
Deutschland

T: +49 (0)711/685-66074
F: +49 (0)711/685-66586

 

Geräteliste

ITO Konfokalmikroskop

ITO-Konfokal

Messprinzip:

Konfokal mit rotierenden Mikrolinsen

Ausstattung:

10x, 20x,50x und 100x Objektive

Auflösung:

1µm-20µm lateral
10nm-900nm axial

Feldgröße:

180µm-3.5mm
Per Stitching erweiterbar

 

ITO Mikroskopische Streifenprojektion

ITO Mikroskopische Streifenprojektion

Messprinzip:

Phasenschiebende  Streifenprojektion

Ausstattung:

12,5x Zoomobjektiv                  

Auflösung:

2µm-13µm

Feldgröße:

0,6mm-17mm

 

Zygo NewView 6k

Zygo NewView 6k

Messprinzip:

Scannende Weißlichtinterferometrie

Ausstattung:

50x Objektiv                            

Auflösung:

3µm lateral
1nm axial

Feldgröße:

500µm

 

Mahr MarSurf WS1

Mahr MarSurf WS1

Messprinzip:

Scannende Weißlichtinterferometrie

Ausstattung:

10x, 20x und 50x Objektiv

Auflösung:

3µm-20µm lateral
5nm axial

Feldgröße:

500µm-3.5mm

 

Keyence Digital Microscope VHX-500F

Keyence Digital Microscope VHX-500F

Messprinzip:

Fokusvariation                             

Ausstattung:

100x-1000x Zoomobjektiv
0x-50x Zoomobjektive
(Vergrößerung bezogen auf die
Diagonale des Bildschirms)