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Institut f. Technische Optik
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F: +49 (0)711/685-66586

 

Sensorcharakterisierung

3do_aktull_sensor_characterizationUm optische Messsysteme systematisch optimieren zu können und ihre allgemeine Akzeptanz in industriellen Anwendungen zu erhöhen, ist es notwendig ein umfangreiches Verständnis der zu erwartenden Messunsicherheiten zu haben. Diese ist individuell abhängig von jedem einzelnen Sensorprinzip als auch der jeweiligen Parametrisierungen. Die Entwicklung von angepassten Simulationsmodellen, die Aussagen über die physikalischen Effekte liefern welche die Messunsicherheit maßgeblich beeinflussen, ist unabdingbar. Aktuelle kommerzielle Simulationstools wie Zemax, ASAP, CodeV oder VirtualLab sowie einige am Institut selbst entwickelte Tools werden in der Arbeitsgruppe 3D-Oberflächenmesstechnik für diese Zwecke eingesetzt. Diese Simulationen werden dann realen Messungen gegenübergestellt und verglichen.

Aktuelles Projekt: OptAssyst

Veröffentlichungen

  1. F. Mauch, W. Lyda, M. Gronle, W. Osten, Improved signal model for confocal sensors accounting for object depending artifacts, Optics Express, Vol. 20, Issue 18, pp. 19936-19945 (2012), http://dx.doi.org/10.1364/OE.20.019936
  2. F. Mauch, W. Lyda, W. Osten, Object Depending Measurement Uncertainty of Confocal Sensors, in Fringe 2013, Springer Berlin Heidelberg edited by W. Osten (2013), http://dx.doi.org/10.1007/978-3-642-36359-7_82
  3. F. Mauch, W. Lyda, M. Gronle, W. Osten, Object-depending artifacts in confocal measurements, Proc. SPIE 8466, Instrumentation, Metrology, and Standards for Nanomanufacturing, Optics, and Semiconductors VI, 846609 (October 11, 2012); http://dx.doi.org/10.1117/12.929214
  4. F. Mauch, W. Lyda, W. Osten, Model-based assistance system for confocal measurements of rough surfaces, Proc. SPIE 8788, Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VIII, 87880U (May 13, 2013); http://dx.doi.org/10.1117/12.2019991