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Institut f. Technische Optik
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F: +49 (0)711/685-66586

 

Optik dünner und nanostrukturierter Schichten

Dr. K. Frenner

Mit der zunehmenden Bedeutung der modernen Optik in der Anwendung, Entwicklung und Fertigung von Mikro- und Nanostrukturen müssen auch Erscheinungen des Lichtes erfasst werden, die über die geometrische Optik und die skalaren Ansätze der Wellenoptik  hinausgehen. Durch den Einsatz von Computersimulationen lassen sich leicht Einblicke in diese „Nanowelt“ gewinnen, die durch Messungen nur schwer oder gar nicht möglich wären.
Ausgehend von einer leicht verständlichen Darstellung der Polarisation, Kohärenz und Interferenz wird die Lichtausbreitung in isotropen und anisotropen Medien eingeführt. Reflexion, Transmission und Totalreflexion werden dadurch praxisgerecht erfasst und die Voraussetzungen für die Behandlung dünner und strukturierter Schichten gelegt. Damit können dann moderne Messverfahren wie Ellipsometrie oder Mikroskopie behandelt werden.
  • Polarisation des Lichtes
  • Interferenz und Kohärenz
  • Licht an Grenzflächen
  • Wellenoptik am Computer
  • Dünne Schichten - Herstellung und Anwendung
  • Ellipsometrie dünner Schichten
  • Strukturierte Schichten – Herstellung und Anwendung
  • Mikroskopie und Ellipsometrie strukturierter Schichten
  • Kristalloptik und elektrooptische Komponenten