Phasenschiebende Streifenprojektion
12,5x Zoomobjektiv
2µm-13µm
0,6mm-17mm
Konfokal mit rotierenden Mikrolinsen
10x, 20x, 50x und 100x Objektive
1µm-20µm lateral10nm-900nm axial
180µm-3.5mmPer Stitching erweiterbar
Scannende Weißlichtinterferometrie
50x Objektiv
3µm lateral1nm axial
500µm
10x, 20x und 50x Objektiv
3µm-20µm lateral5nm axial
500µm-3.5mm
Fokusvariation
100x-1000x Zoomobjektiv0x-50x Zoomobjektive(Vergrößerung bezogen auf dieDiagonale des Bildschirms)