Geräteliste

ITO Mikroskopische Streifenprojektion

Messprinzip:

Phasenschiebende Streifenprojektion

Ausstattung:

12,5x Zoomobjektiv

Auflösung:

2µm-13µm

Feldgröße:

0,6mm-17mm

Zygo NewView 6k

Messprinzip:

Scannende Weißlichtinterferometrie

Ausstattung:

50x Objektiv

Auflösung:

3µm lateral
1nm axial

Feldgröße:

500µm

Mahr MarSurf WS1

Messprinzip:

Scannende Weißlichtinterferometrie

Ausstattung:

10x, 20x und 50x Objektiv

Auflösung:

3µm-20µm lateral
5nm axial

Feldgröße:

500µm-3.5mm

Keyence Digital Microscope VHX-500F

Messprinzip:

Fokusvariation

Ausstattung:

100x-1000x Zoomobjektiv
0x-50x Zoomobjektive
(Vergrößerung bezogen auf die
Diagonale des Bildschirms)

TWIP

TWIP Konfokalmikroskop

Messprinzip:

Konfokal mit rotierenden Mikrolinsen

 
Ausstattung:

10x, 20x, 50x und 100x Objektive

Auflösung

1µm-20µm lateral
10nm-900nm axial

Feldgröße

180µm-3.5mm
Per Stitching erweiterbar

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