Forschungsschwerpunkte

Dies ist eine Übersichtsseite zu den Forschungsschwerpunkten der Gruppe "Hochauflösende Messtechnik und Simulation".

defektoskopie

Defektoskopie

Feststellung vorhandener Defekte auf dem Wafer zur Prozesskontrolle in der Halbleiterindustrie. [mehr]

modellierung_simulation

Modellierung und Simulation

Rigorose numerische Simulation von Beugungseffekten an periodischen Strukturen. [mehr]

superlens

Optische Metamaterialien

Entwicklung von Metamaterialien aus strukturen im Subwellenlängenbereich. [mehr]

superlens

Scatterometrie

Charakterisierung von periodischen Strukturen mit Dimensionen im Subwellenlängenbereich. [mehr]

Gruppenleiter

Dieses Bild zeigt  Karsten Frenner
Dr.

Karsten Frenner

Gruppenleiter Hochauflösende Messtechnik und Simulation

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