Defektoskopie
Feststellung vorhandener Defekte auf dem Wafer zur Prozesskontrolle in der Halbleiterindustrie. [mehr]
Modellierung und Simulation
Rigorose numerische Simulation von Beugungseffekten an periodischen Strukturen. [mehr]
Optische Metamaterialien
Entwicklung von Metamaterialien aus strukturen im Subwellenlängenbereich. [mehr]
Scatterometrie
Charakterisierung von periodischen Strukturen mit Dimensionen im Subwellenlängenbereich. [mehr]
Gruppenleiter
![Dieses Bild zeigt Karsten Frenner](https://www.ito.uni-stuttgart.de/images/institute/img_mitarbeiter/Frenner.jpg?__scale=w:150,h:150,cx:9,cy:28,cw:162,ch:162)
Karsten Frenner
Dr.Gruppenleiter Hochauflösende Messtechnik und Simulation