Defektoskopie
Feststellung vorhandener Defekte auf dem Wafer zur Prozesskontrolle in der Halbleiterindustrie. [mehr]
Modellierung und Simulation
Rigorose numerische Simulation von Beugungseffekten an periodischen Strukturen. [mehr]
Optische Metamaterialien
Entwicklung von Metamaterialien aus strukturen im Subwellenlängenbereich. [mehr]
Scatterometrie
Charakterisierung von periodischen Strukturen mit Dimensionen im Subwellenlängenbereich. [mehr]
Gruppenleiter
Karsten Frenner
Dr.Gruppenleiter Hochauflösende Messtechnik und Simulation