3D Surface Metrology

Die Kompetenzen der Arbeitsgruppe erstrecken sich dabei vom Design des optischen Systems über die Entwicklung entsprechender Signalverarbeitungs-algorithmen bis hin zu Fragen der automatischen Messplanung und der Einbindung verschiedener Sensoren in multimodale und multiskalige Messstrategien. Dabei werden in der Gruppe verschiedenste Simulationsmethoden zur Charakterisierung und Optimierung der Messsysteme in Form kommerzieller Tools eingesetzt und bei Bedarf selbst entwickelt. Die entsprechenden Messsysteme sowie die dazugehörigen Algorithmen werden innerhalb einer am Institut entwickelten Open-Source Software-Umgebung bis zu industrietauglichen Prototypen entwickelt.

Langjährige Forschungsschwerpunkte liegen dabei in der konfokalen Mikroskopie, der Weißlicht-interferometrie und der strukturierten Beleuchtung zur Erfassung der Topographie drei-dimensionaler Objekte sowie in der optischen Kohärenztomographie zur Erfassung der dreidi-mensionalen Struktur biologischer Proben.